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CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
核心優(yōu)勢
1、緊湊靈活，突破空間限制
（1）臺式設計，體積小巧，輕松擺放在桌面或狹小空間（如手套箱、移動實驗室），節(jié)省實驗室空間。
（2）支持快速移機，一臺設備滿足多場景需求，助力科研效率提升。
2、高性能，納米級分辨率
（1）空間分辨率優(yōu)于4nm（SE），支持高達200,000倍放大，精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
（2）高襯度成像系統(tǒng)，快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號，滿足材料科學、生命科學等領域的需求。
3、抗振防磁，穩(wěn)定無懼挑戰(zhàn)
（1）特殊隔振設計（CEM3000B搭載復合抗振系統(tǒng)），消除環(huán)境振動與電磁干擾，保障高倍成像質量。
（2）適用于工業(yè)車間、車載實驗室等復雜環(huán)境，穩(wěn)定可靠。
4、高效便捷，一鍵智能操作
（1）快速抽放氣技術：低真空模式僅需40秒（CEM3000B），高真空模式最快1.5分鐘，大幅縮短等待時間。
（2）自動對焦、消像散、圖像增強功能，一鍵生成高質量圖片，降低操作門檻。
5、靈活拓展，滿足多樣需求
（1）可選配低真空系統(tǒng)（5~100Pa），兼容導電/非導電樣品觀測。
（2）CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀，搭配顆粒統(tǒng)計、孔隙率測量等定制功能，滿足多領域分析需求。
應用場景
材料科學：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質檢：錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環(huán)境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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